超低溫恒溫槽應(yīng)用范圍：

1.對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

2.對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。

超低溫恒溫槽操作規(guī)范：

1.槽內(nèi)加入液態(tài)介質(zhì)，使介質(zhì)液面低于工作臺板30mm。應(yīng)遵循以下原則：

  a.當(dāng)工作溫度低于5℃時，液體介質(zhì)一般選用無水乙醇或乙二醇；

  b.當(dāng)工作溫度在5～85℃時，液體介質(zhì)一般選用水；  

  c.當(dāng)工作溫度低于85～95℃時，液體介質(zhì)可選用15%甘油水溶液。

2.連通電源，開啟“電源”開關(guān)，開啟“循環(huán)”開關(guān)。

3.按SET鍵設(shè)定溫度，上排數(shù)碼管（PV）正常測溫，下排數(shù)碼管（SV）數(shù)據(jù)閃動，表示儀表進入溫度設(shè)定狀態(tài)。按△鍵設(shè)定值增大，按▽鍵設(shè)定值減小，溫度設(shè)定范圍在-5～100℃，持續(xù)按△鍵或▽鍵設(shè)定值會快速變化；zui后按一下SET鍵確認設(shè)定溫度，儀器開始工作。當(dāng)上述操作完成后，儀器進入溫度自動控制狀態(tài)，測量溫度（PV）顯示槽內(nèi)實際溫度。

4.關(guān)閉“電源”開關(guān)，分開空氣開關(guān)，電源切斷。